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换句话说,光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安:“用硅和钼反复镀膜,直到光线利用率达到国际标准。”
当下有?人反驳:“都是?纳米级镀膜,反复镀膜也会影响精度,工艺太难了?!”
难度多大?
最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面,其平面起伏不?能超过一根头发的直径。
而光刻机所需的反射镜多达四五十层,平面精度一层比一层要求更平整。
全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得出这种反射镜。
当然,反射镜不?对华出口。
盛明安:“不?用担忧反射镜能不?能被打磨出来,你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里,能够被如何利用到极致。”
“数据、模型,不?管失败成功,统统记录下来。”
盛明安语速打机关枪似的,斩钉截铁、不?容置喙,仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有?序,所有?的技术难点都可以被轻松解决。
他胸有?成竹,心有?沟壑。
他不?必开口安慰,只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。
“杜颂,打开你的odelica先进?行?初步的超精密激光器建模仿真。”
odelica是?一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件,可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
杜颂:“已在创建。”
他领着自己小组成员低头忙碌。
“雷客,你调整一下光路结构。”
“好。”雷客示意助手打开opc(光学邻近矫正)软件,通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。
盛明安匍匐在桌案,设计市场需求的激光光源,就目前的技术发展而言,光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
驱动光源产生的碎屑数量,光谱纯度,每提高一个?技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进?的euv,其功率消耗大、产能低,再过五六年也未能完美解决这两个?问题。
可盛明安不?清楚。
他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造出国产光刻机,可前世是?他完美解决
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